走査プローブ顕微鏡(SPM)は、顕微鏡という名称が用いられるものの光を利用せず、尖った探針の先端で試料表面をスキャンして形状や様々な表面物性を測定できる装置で、AFM(原子間力顕微鏡)とも呼ばれます。本ガイドでは、SPMの測定原理や可能な測定法などを解説します。
本ガイドは、機器分析評価センターにで使用されている下記の装置の概要と測定法について記載しています。
SPM-9700HTは2016年に発売された装置で、多くのオプションを搭載することで様々な測定が可能になっています。2026年4月には装置のアップグレードを行い、2025年に発売されたSPM-9700HT Plusと同等の機能になりました。標準スキャナで10µｍ四方（高さ1µm)、広域スキャナで125µm四方(高さ7µm)までの測定が可能で、液中での測定も可能です。標準スキャナはSPA400/SPI3800Nよりも追従性が高く、高速で測定が可能です。
こちらにSPM-9700HTの仕様や利用手続きを記載しています。
SPA400/SPI3800Nは、1998年頃に学内に導入された古い装置ですが、PCとソフトウェアのアップグレード等を行い、2018年から機器分析評価センターで共同利用されている装置です。従来技術を用いた測定であれば、最近の装置と同等のデータを得ることができます。標準スキャナで20µｍ四方（高さ1.5µm)、広域スキャナで100µm四方(高さ20µm)までの測定が可能で、SPM-9700HTよりも凹凸が大きな試料にも対応でき、液中での測定も可能です。
こちらにSPA400/SPI3800Nの仕様や利用手続きを記載しています。
以下に、測定モードごとに分類した走査プローブ顕微鏡の測定法をまとめています。
