LFMでは、コンタクトモードでカンチレバーを横方向にスキャンし、カンチレバーのねじれの変化をレーザーの反射角度変化として測定します。このため、走査角度を90°に設定して通常の形状測定ではカンチレバーと水平方向にスキャンするのに対し、垂直方向にスキャンします。摩擦力が強い場合、スキャンの際のカンチレバーのねじれがより大きくなることから、ねじれ角によって摩擦を定性的に評価出来ます。
水平力測定での摩擦とカンチレバーのねじれの関係
走査プローブ顕微鏡ガイド - 水平力測定(LFM、FFM) -
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このページでは、走査プローブ顕微鏡(SPM)による水平力(摩擦力)測定について説明しています。摩擦力測定はLFM(lateral force microscopy)またはFFM(friction force microscopy)と呼ばれます。LFMでは、表面形状と同時に摩擦の分布を測定することで、表面形状だけでは見えない材質の違いを測定できます。
