走査プローブ顕微鏡では、溶液を満たしたシャーレの中に試料をカンチレバーごと沈めてスキャンすることで、液中での表面形状を測定することができます。使用できる溶液は、メーカーが保証しているのは純水のみで、樹脂を侵す溶媒や酸、塩基性の強い溶液、高粘性の溶液は使用できません。

　液中測定では、シャーレ内にサンプルを固定し、カンチレバーごと液中に設置して測定を行います。このとき、レーザーの光路調整が液中で可能な専用のカンチレバーホルダを使用します。試料のセッティングや操作は複雑になりますが、コンタクトモードではほぼ空気中と変わらない測定が可能です。

液中測定の概要

　ダイナミックモードでは、カンチレバーの振動が溶液の粘性の影響を強く受けるため、Qカーブ測定時に共振周波数が大気中の1/2以下に低下し、ピークの幅が広くなって乱れます。このため、表面を認識する感度が大幅に低下することがあります。この対策のため、液中測定に対応したカンチレバーの用意が必要な場合があります。