位相測定では、ダイナミックモードでカンチレバーに与える振動を使用して粘弾性の情報を取得します。カンチレバーに与えた振動は、探針先端が表面に接触した際に振幅の現象と共に位相の遅れが見られます。弾性が低く、粘性が大きい試料ほど表面の探針先端への影響が大きく、位相の遅れが大きくなります。位相測定で得られる像は粘性と弾性の違いが合わさった像で、凹凸の大きな表面では形状の影響も強くなるため、万能ではないですが容易に表面形状だけでは得られない物性像が得られます。
位相測定の検出原理
走査プローブ顕微鏡ガイド - 位相測定 -
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このページは、ダイナミックモードでの位相測定について説明しています。位相測定は一般的なダイナミックモードでの形状測定と同時に測定が可能で、形状だけではわからない表面の粘弾性分布の情報が得られるため、よく使用される測定モードです。得られる粘弾性は定性的な情報で、画像内での比較が可能です。複数のデータの粘弾性を比較するためには、それぞれの視野内に同一の材質の表面を入れるなどの工夫が必要です。
