ナノ3Dマッピングの原理
一般的なコンタクトモードとダイナミックモードの形状測定では、横方向にライン単位でスキャンして情報を取得しますが、ナノ3Dマッピングではポイントごとにフォースカーブを取得し、表面に接触する位置から高さ、探針を試料に押し込んだ際に働く斥力から弾性率、探針を試料から離した際の引力から吸着力の情報を得ることができます。
ナノ3Dマッピングによる測定イメージ
走査プローブ顕微鏡による位相測定、フォースモジュレーション測定等による硬さ分布は定性的な情報ですが、ナノ3Dマッピングによる弾性率測定はシミュレーションによって弾性率を算出することである程度定量的な情報として扱うことができます。
ナノ3Dマッピングは、フォースカーブを高速で測定して平面上に情報を得ることで表面形状と弾性率、吸着力の分布を同時に測定できますが、通常の形状測定が一般にライン単位でスキャンするのに対してポイントごとにスキャンするため、高分解能測定では測定に非常に時間がかかります。
このため、従来本測定法の分解能は128×128pointを4時間程度で測定するのが最大でしたが、本機は2026年3月に新型のSPM-9700HT Plusと同等の機能にアップグレードを行い、通常の形状測定と同等の256×256point程度の測定が可能になりました。