MFMでは、試料表面の磁気を検知できるように磁性膜でコーティングされたカンチレバーを使用します。最初に表面にアプローチしてダイナミックモードで表面形状を測定し、次に表面から僅かに探針を上昇させるか振幅を小さくし、先端が表面から離れた状態で表面形状をトレースしながら振動の振幅と位相変化をスキャンし、磁気の分布を検出します。

MFMによる磁気力分布の測定方法

MFMに使用する磁性膜コートカンチレバーは、価格が比較的高い上に経時変化で磁気が弱まるため、使用期限があります。