フォースモジュレーション測定では、コンタクトモードでのスキャンと同時に試料底面に一定周波数の振動を与えます。振動はカンチレバーに伝わるため、形状情報から振動の情報を分離し、振幅と位相の遅れから表面の粘性や弾性の違いを画像化します。

フォースモジュレーション測定における粘弾性検出
このページは、走査プローブ顕微鏡(SPM)でのフォースモジュレーション測定について説明しています。この測定法は、コンタクトモードで形状と同時に試料の粘弾性分布の情報を定性的に得られる方法で、表面形状だけではわからない材質の違いを調べることができます。あくまで定性的な情報のため、異なる試料の粘弾性の違いを比較するには、視野内に同一の材質の表面を入れるなどの工夫が必要です。ダイナミックモードでの位相測定と同様の測定結果が得られますが、比較的柔らかい試料に適しています。
フォースモジュレーション測定では、コンタクトモードでのスキャンと同時に試料底面に一定周波数の振動を与えます。振動はカンチレバーに伝わるため、形状情報から振動の情報を分離し、振幅と位相の遅れから表面の粘性や弾性の違いを画像化します。

フォースモジュレーション測定における粘弾性検出