概要
走査プローブ顕微鏡(SPM、AFM)は、先端の尖った探針を用いて、物質の表面をなぞるように動かして表面の微細な形状や性質を観察できる顕微鏡の一種です。光学顕微鏡や電子顕微鏡と異なり、ビームやレンズを使用しませんが、一定の条件と試料に対して原子・分子レベルの分解能を持ち、透過型電子顕微鏡に並ぶ拡大能力を持ちます。また、探針で実際に試料表面に触れる特性を利用して、表面の粘弾性や電気的特性の分布等の物性測定を行うことができます。
走査プローブ顕微鏡は2023年5月より新装置(島津製作所製SPM-9700HT)を導入したため、本装置は当面公開を続けますが、新しく使用される方には新装置をお勧めします。