本装置は、フォーカスバリエーション(焦点移動)、共焦点レーザー測定、白色干渉計の3つの方法で試料表面の形状、凹凸を測定できるデジタル光学顕微鏡です。光学顕微鏡像観察としては深度合成によるフルフォーカス撮影や広い階調で撮影可能なHDR撮影に対応し、連結測定による広範囲の材料表面の大まかな観察から、微細構造の観察と形状測定までさまざまな測定ができます。表面粗さ解析や透過性のある皮膜の膜厚測定機能も付属しています。
 

装置名：　VK-X3000
対物レンズ： 2.5倍、5倍、10倍、20倍、50倍、100倍、150倍、10倍(白色干渉測定用)
光源：白色LED(同軸照明、リング照明(2.5倍、5倍、10倍のみ))、レーザー光源(404nm)
カメラ、検出器：カラーCMOS(白色光受光素子)、フォトマルチプライヤー(レーザー受光素子)
測定機能：光学観察、レーザー共焦点、白色干渉
付属機能：電動XYステージ、傾斜調整ステージ、VKスペーサー(高さのあるサンプル用スペーサー)、分光膜厚ユニット

自己測定

講習を受講後自己測定が可能です。
講習は日程調整のうえ随時行いますので、担当者にご連絡ください。

依頼測定

学内からは依頼測定を受け付けています。
依頼前に試料や必要な測定等について、担当者にご相談ください。多量の試料や継続して測定する場合は、講習の上自己測定での使用をお願いします。

・光学顕微鏡選択ガイド - VK-X3000使用例 -
機器分析評価センターに設置された他の光学顕微鏡については、光学顕微鏡選択ガイドをご確認ください。