マイカディスクの表面を観察し、段差部分をレーザー共焦点法によって表面形状を測定しました。１５０倍レンズを使用して測定した結果、各段の幅は1µｍ以下、高さは0.1µｍ以下であることがわかりました。

VK-X3000で測定したマイカ上の段差部分　（左）観察像、（中央）３D像、（右）断面プロファイル
３D像は高さを基準にしたカラーパレットで色付け

同様に、表面に複数の亀裂がある部分を測定したところ、3D像からは、観察像では不明な高さ方向の情報を得ることで、亀裂に見えた部分は層が重なることで形成していることや、剥離部分の盛り上がりなどが明らかになりました。

VK-X3000で測定したマイカ表面の亀裂部分の観察像（左）及び３D像（右）
３D像は上方から観察し、高さを基準として色付け