蛍光X線分析装置は、試料にX線を照射して発生する蛍光X線のエネルギーと強度を測定して、そこに存在する元素の種類や濃度を知ることができます。次のような特徴があります。

• 非破壊で多元素同時分析を行えます。
• 液体、固体試料について試料の状態、形態を選びません。
• Naより原子番号の大きい元素を検出可能です。ただし、NaとMg, Alについては試料室内を真空にして測定します。

検出元素範囲

Naより原子番号の大きい元素

X線発生装置

5 - 50kV, 1mA以下

ターゲット

ロジウム

検出器

液体窒素フリー Si(Li) 半導体検出器(EDS)

測定法

• FP法（ファンダメンタル・パラメーター法）を用いて標準物質なしで定量分析/膜厚分析が可能。
• 検量線試料を用意すれば検量線法にも対応。

試料のサイズ

• 直径1.8cm以上で表面の汚れのないものは直置きで、それより小さいか汚染のあるものはサンプルカップに入れて測定。
• 直径30cm, 高さ15cmまで測定可能。

測定範囲

1mmΦ, 3mmΦ, 7mmΦのコリメーターを選択可能で、狭い領域を選択的に分析するか、広い領域を高感度で分析するかを使い分け可能。分析位置確認用のCCDカメラを装備。

学内・学外問わず、ご利用いただけます。

自己測定（相互利用）

利用資格の取得が必要で、取得するには以下の条件が必要です。

• 講習会の受講
• 学内者の場合はX線安全講習の受講と理解度テストの合格
• 学内者の場合は利用者説明会の受講と確認テストの合格

依頼測定

依頼相談は、機器担当者にお問い合わせ下さい。学内者はなるべく自己測定での対応をお願いしています。

予約確認

大学連携NWにログインしていない状態で、以下のアドレスにアクセスしてください。

https://eqnet.jp/top#/public/reservations/Mjk4Nw==%0A/edit

自己測定でご利用いただくには、利用講習の受講が必要となります。

申請方法について

お問い合わせフォームより担当者に申請ください。その際は、装置名と、測定試料に関する情報、希望するおよその日程、装置の紹介ページに目を通したことを併せてご連絡ください。ご希望いただいだ日程で行えないようなら、対応可能日程をお知らせするので、日程調整を行います。

講習内容について

講習はお持ちいただいた試料を測定しながら行い、2時間程度となります。

講習には、以下のものをお持ちください。

• 測定試料
• 操作手順書
• データを持ち帰るためのUSBメモリー（装置PCに直接は差し込めません）

XRF 蛍光X線 元素分析 EDS