蛍光X線分析装置は、試料にX線を照射して発生する蛍光X線のエネルギーと強度を測定して、そこに存在する元素の種類や濃度を知ることができます。次のような特徴があります。

• 非破壊で多元素同時分析を行えます。
• 液体、固体試料について試料の状態、形態を選びません。
• Naより原子番号の大きい元素を検出可能です。ただし、NaとMg, Alについては試料室内を真空にして測定します。

検出器

液体窒素フリー Si(Li) 半導体検出器(EDS)を搭載。

測定法

FP法（ファンダメンタル・パラメーター法）を用いて標準物質なしで簡単に定量分析/膜厚分析が可能。

検量線試料を用意すれば検量線法にも対応。

試料のサイズ

直径1.8cm以上で表面の汚れのないものは直置きで、それより小さいか汚染のあるものはサンプルカップに入れて測定。

厚みは2mm以下で徐々に効率低下。

直径30cm, 高さ15cmまで測定可能。

測定範囲

1mmΦ, 3mmΦ, 7mmΦのコリメーターを選択可能で、狭い領域を選択的に分析するか、広い領域を高感度で分析するかを使い分け可能。分析位置確認用のCCDカメラを装備。

学内・学外問わず、ご利用いただけます。

自己測定（相互利用）

利用資格の取得が必要で、取得するには以下の条件が必要です。

• 講習会の受講
• 学内者の場合は利用者説明会の確認テストに合格

依頼測定

依頼相談は、機器担当者にお問い合わせ下さい。学内者はなるべく自己測定での対応をお願いしています。

予約確認

大学連携NWにログインしていない状態で、以下のアドレスにアクセスしてください。

https://eqnet.jp/top#/public/reservations/Mjk4Nw==%0A/edit

自己測定でご利用いただくには、利用講習の受講が必要となります。

申請方法について

お問い合わせフォームより担当者に申請ください。

申請の際は、装置名と、装置の紹介ページに目を通したこと、測定したい試料の情報と目的元素をご連絡ください。

申請を受けると、担当者の対応可能日程をお知らせするので、予約確認により装置の予約状況を確認のうえ希望日程を返信ください。

講習内容について

講習はお持ちいただいた試料を測定しながら行い、2時間程度となります。

講習には、以下のものをお持ちください。

• 測定試料
• 操作手順書
• データを持ち帰るためのUSBメモリー（装置PCに直接は差し込めません）

XRF 蛍光X線 元素分析 EDS