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走査型電子顕微鏡：FlexSEM 1000 Ⅱ

  • 機器名

    走査型電子顕微鏡

  • 機器名(英語)

    Scanning Electron Microscope

  • メーカー

    （株）日立ハイテク

  • メーカー(英語)

    Hitachi High-Tech Corporation

  • 型式

    FlexSEM 1000 II

  • 型式(英語)

    FlexSEM 1000 II

  • 利用目的

    形態観察、元素分析

  • 担当

    吉原

  • 連絡先

    担当者へ連絡

故障・不具合情報

  • 状況

    正常

概要

電子銃としてタングステンフィラメントを使用している走査電子顕微鏡です。これまで当センターのSEMでは対応していなかった低真空モードも可能で、非導電性試料を前処理なしで観察できます。また、二次電子検出器、反射電子検出器に加え、高感度低真空検出器（UVD）を搭載しており、低真空モードで二次電子情報を持つ像やCL情報を取得可能です。EDSも搭載しています。
仕様としては、当センターに従来より設置されていたFE-SEM（JSM-70001F、SU8010）と簡易型SEM（VE-8800）の間のグレードの位置づけです。

仕様

概略仕様
加速電圧：0.3~20 kV
電子銃：タングステンフィラメント
検出器：二次電子検出器、反射電子検出器（5分割式）、高感度低真空検出器（UVD）
低真空度設定：6~100 Pa
試料サイズ：最大Φ 80 mm（最大観察範囲はΦ64 mm） 、最大 H 40 mm
付帯設備：Oxford製EDS（Xplore Compact/AztecLive One）

 

メーカー製品ページ
https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/products/microscopes/sem-tem-stem/sem/flexsem1000.html

利用方法

自己測定（講習受講後、ライセンス付与）

※導入初年度のため学外には公開しておりません。