走査型電子顕微鏡：SU8010
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機器名
走査電子顕微鏡
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機器名(英語)
Scanning Electron Microscope
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メーカー
（株）日立ハイテク
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メーカー(英語)
Hitachi High-Tech Corporation
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型式
SU8010
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利用目的
形態観察、元素分析
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担当
吉原
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連絡先
担当者に連絡
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状況
正常
概要
本装置は、冷陰極電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。
セミインレンズタイプでUpper/Lowerの2つの検出器を搭載しており二次電子、反射電子の同時観察やリターディング機能により低照射電圧超高分解能観察が可能です。
仕様
概略仕様
加速電圧：0.1~30 kV
電子銃：電界放出（コールドFE）型
対物レンズ：セミインレンズ型
検出器：Upper検出器（二次電子像、高角・低角度反射電子像）、Lower検出器（二次電子像）
試料サイズ：（運用上）最大Φ 1 inch × H 15 mm
付帯設備：EDS
電子銃：電界放出（コールドFE）型
対物レンズ：セミインレンズ型
検出器：Upper検出器（二次電子像、高角・低角度反射電子像）、Lower検出器（二次電子像）
試料サイズ：（運用上）最大Φ 1 inch × H 15 mm
付帯設備：EDS
メーカー仕様
二次電子分解能：1.0nm （加速電圧15kV、WD＝4mm）
1.3nm （照射電圧1kV、WD＝1.5mm、リターディングモード）
照射電圧：0.1kV～30kV
リターディング電圧：最大-2.5kV
倍率：低倍率モードx20～x2,000
高倍率モードx100～x800,000
電子銃：冷陰極電界放出形電子銃
検出器：Lower / Upper 検出器
SE/BSE信号可変方式（Upper）
試料サイズ：100mm径（最大）
画像データ保存：640x480、1,280x960、2,560x1,920、5,120x3,840
到達真空度：試料室 7xE-4 Pa以下
電子銃室 1xE-7 Pa以下（IP1）
2xE-6 Pa以下（IP2）
7xE-5 Pa以下（IP3）
1.3nm （照射電圧1kV、WD＝1.5mm、リターディングモード）
照射電圧：0.1kV～30kV
リターディング電圧：最大-2.5kV
倍率：低倍率モードx20～x2,000
高倍率モードx100～x800,000
電子銃：冷陰極電界放出形電子銃
検出器：Lower / Upper 検出器
SE/BSE信号可変方式（Upper）
試料サイズ：100mm径（最大）
画像データ保存：640x480、1,280x960、2,560x1,920、5,120x3,840
到達真空度：試料室 7xE-4 Pa以下
電子銃室 1xE-7 Pa以下（IP1）
2xE-6 Pa以下（IP2）
7xE-5 Pa以下（IP3）
利用方法
自己測定（講習受講後、ライセンス付与）
講習
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