概要
本装置は、冷陰極電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。
セミインレンズタイプでUpper/Lowerの2つの検出器を搭載しており二次電子、反射電子の同時観察やリターディング機能により低照射電圧超高分解能観察が可能です。
メーカー
日立ハイテク
型式
SU8010
利用目的
形態観察、元素分析
担当
吉原
連絡先
担当者に連絡
本装置は、冷陰極電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。
セミインレンズタイプでUpper/Lowerの2つの検出器を搭載しており二次電子、反射電子の同時観察やリターディング機能により低照射電圧超高分解能観察が可能です。
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