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走査型電子顕微鏡SU8010

  • メーカー

    日立ハイテク

  • 型式

    SU8010

  • 利用目的

    形態観察、元素分析

  • 担当

    吉原

  • 連絡先

    担当者に連絡

概要

本装置は、冷陰極電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。

セミインレンズタイプでUpper/Lowerの2つの検出器を搭載しており二次電子、反射電子の同時観察やリターディング機能により低照射電圧超高分解能観察が可能です。

仕様

概略仕様
加速電圧:0.1~30 kV
電子銃:電界放出(コールドFE)型
対物レンズ:セミインレンズ型
検出器:Upper検出器(二次電子像、高角・低角度反射電子像)、Lower検出器(二次電子像)
試料サイズ:(運用上)最大Φ 1 inch × H 15 mm
付帯設備:EDS
メーカー仕様
二次電子分解能:1.0nm (加速電圧15kV、WD=4mm)
        1.3nm (照射電圧1kV、WD=1.5mm、リターディングモード)
照射電圧:0.1kV~30kV
リターディング電圧:最大-2.5kV
倍率:低倍率モードx20~x2,000
   高倍率モードx100~x800,000
電子銃:冷陰極電界放出形電子銃
検出器:Lower / Upper 検出器
    SE/BSE信号可変方式(Upper)
試料サイズ:100mm径(最大)
画像データ保存:640x480、1,280x960、2,560x1,920、5,120x3,840
到達真空度:試料室 7xE-4 Pa以下
      電子銃室 1xE-7 Pa以下(IP1)
           2xE-6 Pa以下(IP2)
           7xE-5 Pa以下(IP3)

利用方法

自己測定(講習受講後、ライセンス付与)