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走査型電子顕微鏡JSM-7001F

  • メーカー

    日本電子

  • 型式

    JSM-7001F

  • 利用目的

    形態観察、元素分析、結晶方位解析

  • 担当

    吉原

  • 連絡先

    担当者に連絡

概要

本装置は、インレンズサーマル電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。低加速電圧時でも効率よく電流が得られるため、高分解能観察が可能です。二次電子検出器以外に反射電子検出器を備えており、試料表面の形状観察だけでなく、試料組成に関する情報も得られます。EDS、EBSDが付帯しており、元素分析や微小構造解析が行えます。

仕様

概略仕様
加速電圧:0.5~30 kV
電子銃:ショットキー型
対物レンズ:アウトレンズ型
検出器:二次電子検出器、反射電子検出器
試料サイズ:(運用上)最大Φ26mm×H15mm
付帯設備:EDS、EBSD
メーカー仕様
保証分解能:1.2nm(30kV)、3.0nm(1kV)
倍率:x 10~x 1,000,000
加速電圧:0.5kV~30 kV
試料照射電流:数pA~200 nA
電子銃:インレンズサーマルFEG
電子銃軸合わせ:完全自動(機械式調整不要)
対物レンズ:スーパーコニカルレンズ
対物レンズ絞り:クリックストップ式4段切り換え
検出器:二次電子検出器、反射電子検出器
ジェントルビーム:組込み
試料室:最大200mm径試料対応大形試料室。試料高さは15mm程度まで
試料ステージ:大型ユーセントリック試料ステージ
デジタル画像:1,280 x 960、2,560 x 1,920、5,120 x 3,840(画素)
マルチライブ像:組込み
排気系:SIPx 2、DP x 2、RP x 1

利用方法

自己測定(講習受講後、ライセンス付与)