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X線光電子分光分析装置: Quantera-SXM

  • 機器名

    X線光電子分光法(X-ray photoelectron spectroscopy;XPS)

  • メーカー

    アルバック・ファイ

  • 型式

    Qunatera-SXM

  • 利用目的

    表面の元素分析、元素の結合状態分析

  • 担当

    金田

  • 連絡先

    担当者へ連絡

概要

X線を物質に照射すると励起・放出される電子を、光電子といいます。この電子のエネルギーおよび強度分布を測定する方法が、X線光電子分光法です。

  • 表面から数nm程度の深さのLi以上の全元素の化学状態分析が行えます。
  • 対象試料は金属、半導体、有機物、セラミックスなどの固体材料です。
  • イオンスパッタリングと組み合わせることにより、深さ方向の分析が可能です。

仕様

  • ビーム径:9μm~200μm
  • エネルギー分解能:0.49eV以下(Ag3d5/2のとき)
  • 大気に暴露せずに分析チャンバーに試料を導入出来る機構付属

 

利用方法

学内

自己測定 講習後のライセンス試験に合格すること。

学外

依頼分析 担当者へ申込
自己測定 担当者へ相談