X線を物質に照射すると励起・放出される電子を、光電子といいます。この電子のエネルギーおよび強度分布を測定する方法が、X線光電子分光法です。

• 表面から数nm程度の深さのLi以上の全元素の化学状態分析が行えます。
• 対象試料は金属、半導体、有機物、セラミックスなどの固体材料です。
• イオンスパッタリングと組み合わせることにより、深さ方向の分析が可能です。

• ビーム径：9μm～200μm
• エネルギー分解能：0.49eV以下(Ag3d5/2のとき)
• 大気に暴露せずに分析チャンバーに試料を導入出来る機構付属

学内

自己測定　講習後のライセンス試験に合格すること。

学外

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