電子顕微鏡は、光の代わりに電子（電子線）をあてて拡大する顕微鏡のことです。観察物質の構造や構成成分の違いにより電子線の透過能が異なるので、場所による透過電子の密度の違いを透過顕微鏡像として得ます。透過型電子顕微鏡では、極薄い試料を用いますが、数十万倍にも拡大した像を得ることができます。さらに、原子の周期的な配列に対応した回折現象を利用して、電子回折像が得られます。これは、物質（試料）の性質、特に結晶構造や格子欠陥に関わる重要な情報です。

• 分解能:粒子像：0.23nm　格子像：0.1nm
• 加速電圧：100,120, 200kV
• 電子銃:エミッター(ZrO/W(100)
• 倍率:×50～1,500,000
• 傾斜角:X/Y ±35/±30°
• EDS:エネルギー分散形X線分析装置

試料作製する機器としては、下記の装置があります。

• イオンスライサー(JEOL製)EM-09100IS 金属、半導体等の薄片化装置
• ウルトラミクロトーム(Leica製)UC7,FC7 高分子、生物、軟金属の薄片化装置

学内

依頼分析：　依頼分析申込書と試料を担当者へ提出
自己測定：　原則、教職員の経験者のみ受入れ

学外

依頼分析：　担当者へ申込
自己測定：　担当者へ相談