本装置は、ショットキー電解放出形電子銃を搭載した透過電子顕微鏡です。ナノスケールオーダの高分解能の像観察が可能であり、主に、形状、結晶性、組成に起因した像が得られます。また、電子線回折、STEM像観察、元素組成分析、元素マッピングなどが行えます。

分解能：粒子像 0.23nm　格子像 0.1nm
加速電圧：200kV
電子銃：ショットキー電解放出形銃
倍率：×50～1,500,000
観察モード：透過電子顕微鏡（TEM）、走査型透過電子顕微鏡（STEM）、電子回折（ED）
分析機能：エネルギー分散型X線分光器（EDS）
傾斜角：X/Y ±35/±30°

・FIB-SEM（ZEISS製）Crossbeam550　
・ウルトラミクロトーム（Leica製）UC7,FC7
・イオンスライサー（JEOL製）EM-09100IS

学内

自己測定：　講習受講後に利用資格取得。 事前アンケートにご回答ください。
依頼測定：　担当者へメールで相談。

学外

担当者へご相談ください。