概要
ADEPT-1010は、四重極型質量分析器を持ち、半導体などの浅く打ち込まれたドーパントの分析や薄膜多層膜の分析に適した装置です。極表面の深さ方向分析を高感度、高速分析で行うことが可能です。極浅イオン注入や薄膜評価を可能にする高輝度低加速イオン銃、大気成分の検出下限向上を目的とした超高真空排気系、簡潔・簡単に多点分析を可能にするシンプルなソフトウエアを備えます。
機器名
四重極型二次イオン質量分析装置(SIMS)
メーカー
アルバック・ファイ
型式
PHI ADEPT-1010
利用目的
無機元素の深さ方向分析、標準物質を用いた定量分析
担当
外部協力教員(環境情報研究院・藤井)
連絡先
ADEPT-1010は、四重極型質量分析器を持ち、半導体などの浅く打ち込まれたドーパントの分析や薄膜多層膜の分析に適した装置です。極表面の深さ方向分析を高感度、高速分析で行うことが可能です。極浅イオン注入や薄膜評価を可能にする高輝度低加速イオン銃、大気成分の検出下限向上を目的とした超高真空排気系、簡潔・簡単に多点分析を可能にするシンプルなソフトウエアを備えます。
酸素ビーム 感度:2×107cps, ビーム電圧:0.25〜8kV
セシウムビーム 感度:2×107cps, ビーム電圧:0.25〜11kV
到達圧力 1.2×10-8Pa以下
詳しくは担当者にご相談ください。