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四重極型二次イオン質量分析装置(SIMS)

  • 機器名

    四重極型二次イオン質量分析装置(SIMS)

  • メーカー

    アルバック・ファイ

  • 型式

    PHI ADEPT-1010

  • 利用目的

    無機元素の深さ方向分析、標準物質を用いた定量分析

  • 担当

    外部協力教員(環境情報研究院・藤井)

  • 連絡先

    お問い合わせフォームより連絡(リンク)

概要

ADEPT-1010は、四重極型質量分析器を持ち、半導体などの浅く打ち込まれたドーパントの分析や薄膜多層膜の分析に適した装置です。極表面の深さ方向分析を高感度、高速分析で行うことが可能です。極浅イオン注入や薄膜評価を可能にする高輝度低加速イオン銃、大気成分の検出下限向上を目的とした超高真空排気系、簡潔・簡単に多点分析を可能にするシンプルなソフトウエアを備えます。

用途

  • 〜250 eV/Oxygen atomの一次イオンビーム照射により、究極の深さ方向分解能を達成
  • 高透過率の二次イオン光学系により、ダイナミックレンジならびに検出下限を大幅に改善
  • 全自動 5軸フルオートステージの採用により、任意の設定による分析が可能
  • 垂直入射から斜め入射まで高感度測定が可能

仕様

酸素ビーム           感度:2×107cps, ビーム電圧:0.25〜8kV
セシウムビーム    感度:2×107cps, ビーム電圧:0.25〜11kV
到達圧力              1.2×10-8Pa以下

利用方法

詳しくは担当者にご相談ください。

依頼測定

  • 大学連携ネットワークにアクセスしていただき、お申込みください。いくつかの確認事項がありますので、大学連携ネットワークに登録するだけでなく、事前に担当者へのメール連絡も行ってください。
  • 依頼するときは、必ず当センターの依頼申込書を作成し、大学連携ネットワークを通じて提出してください。

自己測定

  • 自己測定の利用資格(ライセンス)の取得は、個人単位となります。
  • 利用者の希望に応じて講習会を開くことができます(不定期)。