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マグネトロンスパッタ装置：MSP-1S

  • 機器名

    マグネトロンスパッタ装置

  • メーカー

    真空デバイス

  • 型式

    MSP-1S

  • 担当

    吉原

  • 連絡先

    担当者へ連絡

概要

SEM観察において、非導電性試料のチャージアップを防ぐための各種金属コーティングを行えるマグネトロンスパッタ装置です。

仕様

ターゲット：Pt-Pd、Au