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イオンスパッター: JFC-3000FC

  • 機器名

    イオンスパッター

  • メーカー

    日本電子

  • 型式

    JFC-3000FC

  • 利用目的

    イオンスパッタリング

  • 担当

    金田

  • 連絡先

    担当者に連絡

概要

生物などの非導電性試料への各種金属コーティングを短時間に効率的に行えるイオンスパッター装置です。

仕様

ターゲット: Pt80-Pd20, Pt