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イオンスライサー: EM-09100 I

  • 機器名

    イオンスライサー

  • メーカー

    日本電子(株)

  • メーカー(英語)

    JEOL Ltd.

  • 型式

    EM-09100 I

  • 利用目的

    透過型電子顕微鏡試料作製

  • 担当

    金田

  • 連絡先

    担当者に連絡

故障・不具合情報

  • 状況

    正常

概要

低エネルギーのArイオンを用いるためイオン注入によるアモルファス層形成などのダメージが非常に少なく、高分解能観察に適した透過型電子顕微鏡試料作製装置です。