集束イオンビーム加工観察装置（FIB-SEM）は、集束イオンビームを用いた加工機能と走査型電子顕微鏡の観察機能を備えた装置であり、像を観察しながら任意の箇所をサブミクロンオーダーで微細加工できる装置です。本装置は、フェムト秒レーザーを付帯しており、mmオーダーの広範囲の加工にも対応しています。また、EDS、EBSD、ナノインデンターを付帯しており、元素分析、微小構造解析、力学特性評価を行うことが可能です。加工機能と観察・分析機能を併用することで、3D-SEM、3D-EDS、3D-EBSDなどの3次元情報を得ることができます。

FIB

イオン源

Ga液体金属イオン源

加速電圧

0.5kV～30kV

電流値

1pA～100nA

分解能

3.0nm（30kV）

デポジッションガス源

C、Pt

SEM

加速電圧

0.02kV～30kV

電子銃

ショットキー電界放出型

電流値

3pA～40nA

検出器

二次電子検出器（対物レンズ内・外）
反射電子検出器（対物レンズ内・外）
走査型透過電子検出器

分解能

0.7nm（15kV）、1.4nm（1kV）

試料サイズ

最大Φ50ｍｍ×H10mm （FIB加工の場合）

付帯設備

EDS、EBSD、フェムト秒レーザー、ナノインデンター、マニュピレーター、3次元構築機能

レーザー

レーザー種

ダイオード励起固体レーザー

走査範囲サイズ

X-Y　40mm×40mm

スポットサイズ

≦15μm

波長

515nm （Green）

ナノインデンター

荷重

最大500mN

変位

最大150μm

加熱

室温から800℃

自己測定：
講習受講後に自己測定が可能です。事前アンケートにご回答ください。
＊学外の自己測定利用は、現在受け付けておりません。

依頼測定：
依頼前に試料や目的について担当者にご相談ください。
試料数が多い場合、継続して使用する場合は、自己測定での使用をお願いします。
＊学外の依頼測定での利用は一部受け付けております。担当者にご相談ください。