概要
集束イオンビーム加工観察装置(FIB-SEM)は、集束イオンビームを用いた加工機能と走査型電子顕微鏡の観察機能を備えた装置であり、像を観察しながら任意の箇所をサブミクロンオーダーで微細加工できる装置です。本装置は、フェムト秒レーザーを付帯しており、mmオーダーの広範囲の加工にも対応しています。また、EDS、EBSD、ナノインデンターを付帯しており、元素分析、微小構造解析、力学特性評価を行うことが可能です。加工機能と観察・分析機能を併用することで、3D-SEM、3D-EDS、3D-EBSDなどの3次元情報を得ることができます。