この装置は、機械工学・材料棟122室に移設し、部局管理機器となりました。部局管理機器についてはセンターホームページの「部局管理機器について」をご覧ください。

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　FIB-SEMは、集束イオンビーム（FIB）を用いた加工機能と走査電子顕微鏡（SEM）の観察機能を同時に備えた装置です。数nm～数百nm径に集束したイオンビームを用いて試料表面を走査させることにより、特定領域の加工および成膜が可能です。像を観察しながら任意の箇所をサブミクロンオーダーで微細加工することが出来るため、SEM断面観察用試料、TEM薄膜試料作製などにも利用されます。

［FIB］

　イオン源　　Ga液体金属イオン源
　加速電圧　　1～30kV（ステップ）
　倍率　　　　ｘ30（視野探し）
　　　　　　　ｘ100～300,000
　最大ビーム電流    60nA（30kV時）
　イオンビーム加工形状    短形、ライン、スポット
　デポジッションガス源    炭素（C）、プラチナ（Pt）

［SEM］

　ビーム源　　LaB6
　加速電圧　　0.3kV～30kV
　倍率　　　　ｘ5～ｘ300,000
　最大ビーム電流　1μA（30kV時）

［試料ステージ］

　ゴニオメーターステージ
　　X：76mm　Y:76mm
　　Z：5～48mm
　　T：-10°～90°
　　R：360°
　　試料サイズ：76mmφ

学内向けについては、ライセンス方式になっております。機器担当者にお問い合わせください。