本装置は、ショットキー電界放出電子銃を装備した電子線マイクロアナライザーです。
細く収束された電子ビーム（電子プローブ）を試料の表面に照射し、その部分から発生する特殊Ｘ線の波長や強度、二次電子や反射電子の量などを測定することによって、試料の形状の他、試料の構成元素の種類、含有量、および分布状態などを調べることが可能です。

検出器：　　　　波長分散型Ｘ線分光器
分析元素範囲：　B～U
X線分光範囲 ：　0.087～9.3 nm
X線分光器数 ：　最大5基
最大マッピング範囲：　90 mm × 90 mm （最小ステップ 0.2 μm）
加速電圧：　　　5～30 kV
照射電流範囲：　10-12～ 5×10-7 A
二次電子分解能：　3 nm (W.D. 11 mm, 30 kV)
分析条件最小プローブ径：　10 kV, 1×10-8 A : 40 nm
　　　　　　　　10 kV, 1×10-7 A : 100 nm
走査倍率：　　　× 40 ～ × 300,000 (W. D. 11 mm)

EPMAは測定の構造上、試料は平滑であることが求められます。
鉱物等なら表面研磨、紙ならカミソリで切った断面で平面を出すなどの前処理が必要になります。
 

職員による利用講習は行っておらず、研究室に熟練者がいる場合のみ研究室内の使用方法の引継ぎによりご利用いただける状態となっております。装置の利用法習得に1週間程度かかることからこのようになっていますが、つてがない場合は分析依頼を受け付けています。

詳細は担当者へお問い合わせください。