導電性のない試料を電子顕微鏡やEPMAで観察/測定する際に、何もコーティングしていないと、試料に電子がたまっていき、帯電した部分では正しい明るさや強度が得られなくなる場合があります。（チャージアップ）

この装置は、試料表面に高純度のカーボンを蒸着することにより、非常に薄い導電膜を作製することでチャージアップを防ぐことを可能にします。

試料の性状

• 液体を含むものは不可
• 多孔質のものは不可か非常に時間がかかる

膜厚

標準的な膜厚は以下の通りです。

• SEM観察：1 nm ～ 20 nm
• EPMA測定：5 nm(標準試料の膜厚に準じる)

標準的な利用の流れは

1. 講習の受講
2. 大学連携ネットワークからの利用資格申請
3. 利用資格設定
4. 大学連携ネットワークからの予約
5. 利用（利用時間の変更、キャンセルがある場合は予約の変更）

となります。

担当者にご申請ください。講習日程等を調整のうえ講習を行います。
講習はお持ちいただいた試料を装置を使ってコーティングをしながら行い、洗浄を含めて2時間程度となります。